第125章 改良方案

計劃歸計劃，該拆的設備還是得拆。

不過康馳也不用把它拆得非常零散，只需要把幾個模塊給分開就行了。

反正這玩意拆了外殼，誰也不認不出是什麼東西。

由於工作量比較大，康馳只能在東陽又多停留了一週，

同時在拆解休息的時候，他還抽空看了看常春光所的euv設計圖，把圖紙都給吃透得差不多了。

在光刻機的euv光源中，有兩個相對成熟可靠的方案，即dpp和Lpp方案。

這兩個方案，其實原理都是差不多的，就是利用錫轉換成等離子體的過程中，可以釋放出極紫外光，

區別只是dpp是用電擊錫來激活，Lpp是用激光二次打擊錫液激活。

按照華國的一貫風格，自然是啥都要試試，

所以目前這兩個方案，分別由常春光所、魔都光所負責研發。

其中魔都光所的Lpp方案，進展其實是最快的，據說功率已經達到了188w，轉換效率為3.7%，基本能夠進入實用化了。

但Lpp方案中所需的脈衝大功率二氧化碳激光器，依然沒有攻克，目前只有m國和島國能夠生產，和euv光刻機一樣有錢也買不到。

所以雖然阿斯麥的euv光刻機，用的就是這個方案，算是給華國指明瞭方向，但因為專利壁壘和禁售，挑戰反而更大。

反觀dpp方案，則可以避開專利壁壘，同時它的前景也更大，因為它是直接將電能轉化為等離子體能，光源結構簡單，隨著技術成熟相對容易提升功率，

如果能把同步輻射光源的加速器小型化，那麼dpp方案也將會有更大的應用前景。

這也是康馳選擇常春光所dpp方案的主要原因。

在吃透了常春光所的圖紙，並分析出了他們目前遇到的困難和技術缺陷後，康馳又花了幾天的時間，對這套方案進行了改良設計，然後把硬盤交給了陳海，讓他安排人送到常春去。

當何永收到硬盤，得知康馳已經對方案完成了改良設計後，忍不住掏出手機，確認了一下日期。

“這才過了十天，你確定他把圖紙看明白了？”

負責送圖紙的賴慶雷搖了搖頭：“抱歉，我只是個送圖紙的，技術層面的東西我也不知道，不過我覺得康博士應該不至於開這種低級玩笑。”