顧青黃朝仁 作品
第一百七十六章：國產DUV光源
九州科技半導體部門研發的穩態微聚束的ss1mb光源，為這個分辨率90nm的s1a600/20光刻機的適配光源設備是duv深紫外光。
光源設備運行，激光器發射出來的深紫外光
經過矯正後，進入能量控制器、光束成型裝置等設備，再進入光掩膜臺。
光掩膜臺上面放的測試用的光掩膜，之後經過物鏡投射到曝光臺。
曝光臺上放置著一張8英寸晶圓片，上面塗抹了光刻膠。
半個小時後……當然芯片不是這麼一點時間就可以做出來的，但是其工作狀態和試運行成果卻是能判斷的。
“這，這，這……”
“這居然是真的，國產duv光源？我不是在做夢吧，老趙。”
“純淨度極為優秀”
剛剛還有些負氣的年輕工程師此刻看著工作間裡面的光刻機，嘴巴不自覺張大，眼神有些渙散。
李由作為一個有家室的中年人，很是照顧後輩。
他走到這人身旁，拍了拍他的肩膀。
“回回神，這才剛開始。”
“啊？啊？什麼開始？你們可以把這個光源賣給我們嗎？現在就可以用我們國產的光源了嗎？”
這位青年工程師有些語無倫次，其他研發人員和工程師亦是如此。
整個實驗室和光刻機工作間的人都震驚了。
大夏企業自己的光源設備！
他們等這一天多久了？
有浦東微電子的老工程師不自覺擦起了眼淚。
男兒有淚不輕彈，只是未到傷心處。
這群投身國產半導體行業的老人們更是感觸頗深。
他們當年搞這個的時候……
“造不如買、造出垃圾來賣得又貴，國產不好用。
國產毛病多，你們別做了，還是買德國的光源吧！
搞個光刻機淨坑自己人！”
一句句往日刁鑽刻薄的話此刻在耳邊迴響，再看看現在那臺光刻機。薆荳看書
“終於有好光源了。”
趙教授摘下眼鏡，擦了又擦眼角的淚水，他身旁助理此刻也是以淚洗面。
顧青抿著嘴，搖了搖頭。
雖然瞭解過大夏半導體科研的困難，但他還是低估了當年輿論環境和經濟環境對這些科研人員的傷害。
光源設備運行，激光器發射出來的深紫外光
經過矯正後，進入能量控制器、光束成型裝置等設備，再進入光掩膜臺。
光掩膜臺上面放的測試用的光掩膜，之後經過物鏡投射到曝光臺。
曝光臺上放置著一張8英寸晶圓片，上面塗抹了光刻膠。
半個小時後……當然芯片不是這麼一點時間就可以做出來的，但是其工作狀態和試運行成果卻是能判斷的。
“這，這，這……”
“這居然是真的，國產duv光源？我不是在做夢吧，老趙。”
“純淨度極為優秀”
剛剛還有些負氣的年輕工程師此刻看著工作間裡面的光刻機，嘴巴不自覺張大，眼神有些渙散。
李由作為一個有家室的中年人，很是照顧後輩。
他走到這人身旁，拍了拍他的肩膀。
“回回神，這才剛開始。”
“啊？啊？什麼開始？你們可以把這個光源賣給我們嗎？現在就可以用我們國產的光源了嗎？”
這位青年工程師有些語無倫次，其他研發人員和工程師亦是如此。
整個實驗室和光刻機工作間的人都震驚了。
大夏企業自己的光源設備！
他們等這一天多久了？
有浦東微電子的老工程師不自覺擦起了眼淚。
男兒有淚不輕彈，只是未到傷心處。
這群投身國產半導體行業的老人們更是感觸頗深。
他們當年搞這個的時候……
“造不如買、造出垃圾來賣得又貴，國產不好用。
國產毛病多，你們別做了，還是買德國的光源吧！
搞個光刻機淨坑自己人！”
一句句往日刁鑽刻薄的話此刻在耳邊迴響，再看看現在那臺光刻機。薆荳看書
“終於有好光源了。”
趙教授摘下眼鏡，擦了又擦眼角的淚水，他身旁助理此刻也是以淚洗面。
顧青抿著嘴，搖了搖頭。
雖然瞭解過大夏半導體科研的困難，但他還是低估了當年輿論環境和經濟環境對這些科研人員的傷害。